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產(chǎn)品詳細(xì)頁(yè)

極紫外 (EUV) 二向色濾光片

簡(jiǎn)要描述:極紫外 (EUV) 二向色濾光片
在高次諧波發(fā)生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開
專為高損傷閾值設(shè)計(jì)
支持從10 - 40納米的應(yīng)用
現(xiàn)貨儲(chǔ)備
無最小起訂量、無鍍膜批次收費(fèi)

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-11-28
  • 訪  問  量:528

產(chǎn)品介紹

品牌Edmund Optics價(jià)格區(qū)間面議
組件類別光學(xué)元件應(yīng)用領(lǐng)域綜合

極紫外 (EUV) 二向色濾光片

在高次諧波發(fā)生器中將極紫外(EUV)與近紅外激光源分開

專為高損傷閾值設(shè)計(jì)

支持從10 - 40納米的應(yīng)用

現(xiàn)貨儲(chǔ)備

無最小起訂量、無鍍膜批次收費(fèi)


通用規(guī)格

直徑 (mm):
50.80
入射角 (°):
78
基底:
Fused Silica (Corning 7980)
涂層:
Dielectric Multilayer AR
表面質(zhì)量:
20-10
厚度 (mm):
5.08 ±0.1
平行度(弧分):
<5
尺寸容差 (mm):
+0.0/-0.2
面形計(jì)算 (RMS):
<λ/10 @ 633nm


型號(hào)


產(chǎn)品編碼Dia. (mm)厚度 (mm)波長(zhǎng)范圍 (nm)
18-27950.80 5.08 ±0.110 - 25 
18-28050.80 5.08 ±0.120 - 40 


詳細(xì)資料

極紫外(EUV)二向色濾光片也被稱為分束鏡,是通過在極紫外(EUV)和近紅外波長(zhǎng)之間提供高分離效率,用于高次諧波產(chǎn)生的應(yīng)用。這些濾光片采用熔融石英基片,相比其他布魯斯特角光束分離器和極紫外(EUV)濾光片,能支持更高的激光功率。極紫外(EUV)二向色濾光片的帶寬范圍從10納米到40納米。 除了高次諧波產(chǎn)生,這些濾光片還可用于支持極紫外(EUV)應(yīng)用的系統(tǒng),如EUV光刻、EUV納米加工、相干衍射成像和超快阿秒脈沖產(chǎn)生。


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TEL:18117546256

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