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產(chǎn)品詳細頁
MFA 系列微型鋼線性位移臺
簡要描述：MFA 系列微型鋼線性位移臺，采用極為緊湊的封裝，具有出色的熱穩(wěn)定性、剛度和載重能力。相對于位移臺的尺寸，微型 MFA 是一種低成本選擇，可在空間受限的應(yīng)用中實現(xiàn)精密運動。全鋼結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)高剛度和熱穩(wěn)定性緊湊型設(shè)計用于空間有限的應(yīng)用剛性雙列線性滾珠軸承真空兼容版本至 10-6 hPa。即插即用 - ESP 兼容高分辨率及編碼器反饋可實現(xiàn) 100 nm 靈敏度的超平滑運動
產(chǎn)品型號：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時間：2024-11-27
- 訪 問 量：559
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | Newport/美國 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
MFA 系列微型鋼線性位移臺產(chǎn)品規(guī)格
| 型號 |  | ||
| MFA-PPD | MFA-CC | MFA-CCV6 | |
| 行程范圍 | 25 mm | 25 mm | 25 mm |
| 最大速度 | 1 mm/s | 2.5 mm/s | 1.25 mm/s |
| 中心負載能力 | 50 N | 50 N | 25 N |
| 軸向負載 (+Cx) | 10 N | 10 N | 5 N |
| 逆軸向負載能力 (-Cx) | -10 N | -10 N | -5 N |
| 最小位移增量 | 100 nm | 100 nm | 100 nm |
| 精度，典型值 | ±0.9 µm | ±0.7 µm | ±1.0 µm |
| 精度，保證值 | ±3.0 µm | ±3.0 µm | ±3.0 µm |
| 單向重復(fù)精度，典型值 | ±0.12 µm | ±0.08 µm | ±0.08 µm |
| 單向重復(fù)精度，保證值 | ±0.25 µm | ±0.15 µm | ±0.15 µm |
| 雙向重復(fù)精度，保證值 | ±0.75 µm | ±0.75 µm | ±1.0 µm |
| 雙向重復(fù)精度，典型值 | ±0.2 µm | ±0.15 µm | ±0.2 µm |
| 俯仰，典型值 | ±25 µrad | ±25 µrad | ±25 µrad |
| 俯仰，保證值 | ±100 µrad | ±100 µrad | ±100 µrad |
| 俯仰順應(yīng)性 | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm |
| 偏擺，典型值 | ±30 µrad | ±30 µrad | ±30 µrad |
| 偏擺，保證值 | ±50 µrad | ±50 µrad | ±50 µrad |
| 偏擺順應(yīng)性 | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm | 80 µrad/Nm |
| 滾轉(zhuǎn)順應(yīng)性 | 60 µrad/Nm | 60 µrad/Nm | 60 µrad/Nm |
| 原點重復(fù)精度 | ±2.5 µm | ±2.5 µm | ±2.5 µm |
| 驅(qū)動方式 | Stepper Motor | DC Motor | DC Motor |
| 軸承 | Double-Row Ball Bearings | Double-Row Ball Bearings | Double-Row Ball Bearings |
| 螺紋類型 | M2 and M3 | M2 and M3 | M2 and M3 |
| 電纜長度 | 3 m | 3 m | 1.5 m |
| 真空兼容性 | No | No | 10-6 Torr |
| MTBF | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) | 10,000 h (25% load, 30% Duty cycle) |
| Compliance | |||
MFA 系列微型鋼線性位移臺特征
雙排線性滾珠軸承滑軌
Newport專有的雙列直線球軸承設(shè)計具有直接加工到平臺結(jié)構(gòu)框架中的軸承方式，可實現(xiàn)非常順暢的行程，更長的耐用性和更長的使用壽命。 與使用商用軸承的其他解決方案相比，MFA線性位移臺具有更高的負載能力和剛度，并且俯仰和偏航誤差也較小。
帶有高分辨率反饋的高速直流電機
直流電動機的最大特點是速度快，運動平穩(wěn)，效率高，功率/重量比高。MFA-CC直流電動機具有一個集成的齒輪箱和一個電動機安裝的旋轉(zhuǎn)編碼器。這個2,048 cts / rev 高分辨率的旋轉(zhuǎn)編碼器提供位置反饋。 結(jié)合低摩擦機械設(shè)計，MFA-CC可提供100納米靈敏度的超平滑運動。 更快的運動，更高的可靠性和更低的游隙使直流電動機驅(qū)動的位移臺非常適合要求小增量運動，高動態(tài)速度和良好重復(fù)性的應(yīng)用。
經(jīng)濟型微米步進電機
對于要求不高的應(yīng)用，步進電機可能是比直流電機更經(jīng)濟的解決方案。 步進電動機使用磁吸和排斥的基本原理進行操作，將數(shù)字脈沖轉(zhuǎn)換為機械軸的旋轉(zhuǎn)。 為了提高運動的分辨率和平滑度，MFA-PPD具有微米步進功能，這是一種將運動的完整步長以電子方式劃分為大量局部步長的方法。
全鋼結(jié)構(gòu)
全鋼機身允許使用更為緊湊的設(shè)計，使之具有出色的剛度重量比、更高的熱穩(wěn)定性和載重能力。
運行端點限位開關(guān)
平移臺兩端具有運行端點限位開關(guān)，以防止平移臺因超程而受損。
頂板和底板
有關(guān)更多用途和安裝選項，頂板和底板 可以單獨訂購實現(xiàn)垂直（Z軸）安裝和光學平臺安裝。 對于垂直安裝，請注意，垂直（Z軸）平臺應(yīng)連接到
真空兼容版本
MFA-CCV6 是 MFA 的真空兼容版本，可兼容 10-6 hPa。
CONEX 控制器版本
Newport還提供了集成CONEX控制器的直流電機線性工作臺CONEX-MFACC。對于開箱即用的控制，CONEX控制器是預(yù)配置的，并與MFA-CC級一起交付。
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MFA平移臺負載特性
Compatible Controllers
適用于MFA系列級的兼容運動控制器有:
1.XPS-RLD運動控制器 (2或4軸):需要一個XPS-DRV11驅(qū)動模塊。
2.XPS-D運動控制器(2、4、6或8軸):需要一個XPS-DRV11驅(qū)動模塊
3.運動控制器 (1軸、2軸或3軸) :即插即用兼容。
4.SMC單軸運動控制器 (CC或PP): 即插即用兼容
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