產(chǎn)品分類PRODUCT CLASSIFICATION
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產(chǎn)品詳細頁
RGA 系列薄型高速高重復性直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺
簡要描述：RGA 薄型高速旋轉(zhuǎn)臺非常適合需要低質(zhì)量和大孔徑的工業(yè)應用，但需要快速和精確地旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤等樣品架。快速旋轉(zhuǎn)、薄型、大光圈高重復性低擺動和低偏心率高扭矩和高加速度全鋼結(jié)構(gòu)，具有高剛度和熱穩(wěn)定性即插即用 ESP 兼容性
產(chǎn)品型號：- 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
- 更新時間：2024-11-27
- 訪 問 量：701
產(chǎn)品介紹
| 品牌 | Newport/美國 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 產(chǎn)品種類 | 電動 |
| 應用領域 | 綜合 |
產(chǎn)品型號
| 型號 | 規(guī)格 |
| RGA150 | 電動旋轉(zhuǎn)位移臺，高速，薄款設計 |
| RGA150MAP | 電動旋轉(zhuǎn)位移臺，高速，薄款設計 |
產(chǎn)品規(guī)格
| 型號 | RGA150 | RGA150MAP |
| 角度范圍 | 360 ° | 360 ° |
| 最大速度 | 1800 °/s | 1800 °/s |
| 最小位移增量 | 0.01 mdeg | 0.01 mdeg |
| 峰值驅(qū)動扭矩 | 11 Nm | 11 Nm |
| 中心負載能力 | 50 N | 50 N |
| 雙向重復精度，典型值 | ±0.0975 mdeg | ±0.0975 mdeg |
| 精度，典型值 | ±4 mdeg | |
| 精度，保證值 | ±8 mdeg | ±1 mdeg |
| 擺動，典型值 | ±12 µrad | ±12 µrad |
| 擺動，保證值 | ±26 µrad | ±26 µrad |
| 偏心率，典型值 | ±0.5 µm | ±0.5 µm |
| 偏心率，保證值 | ±1 µm | ±1 µm |
| 孔徑 | 90 mm | 90 mm |
| MTBF | 20,000 hours @ 30% duty cycle | 20,000 hours @ 30 % duty cycle |
| 電纜長度 | 5 m | 5 m |
| 重量 | 4.5 kg | 4.5 kg |
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