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  • RGA 系列薄型高速高重復(fù)性直驅(qū)旋轉(zhuǎn)平臺

    RGA 薄型高速旋轉(zhuǎn)臺非常適合需要低質(zhì)量和大孔徑的工業(yè)應(yīng)用,但需要快速和精確地旋轉(zhuǎn)晶圓卡盤等樣品架。 快速旋轉(zhuǎn)、薄型、大光圈 高重復(fù)性 低擺動(dòng)和低偏心率 高扭矩和高加速度 全鋼結(jié)構(gòu),具有高剛度和熱穩(wěn)定性 即插即用 ESP 兼容性

    型號:
    更新日期:2024-11-27
  • RGV 系列高速精密旋轉(zhuǎn)臺

    RGV 可用于半導(dǎo)體晶片檢測、微型機(jī)器人、精密計(jì)量和運(yùn)動(dòng)模擬器等應(yīng)用,特別適用于 MEMS、陀螺儀和加速度計(jì)測試。 直接驅(qū)動(dòng)可以實(shí)現(xiàn)高達(dá) 1000 deg/s 的優(yōu)異速度,而且可靠性高。 大直徑、鋼制滾珠軸承,剛度高、擺動(dòng)低以及載重能力高。 精密玻璃標(biāo)度編碼器可以實(shí)現(xiàn)高位置重復(fù)性、MIM 和高精度。 高扭矩直流無刷電機(jī),最大扭矩為 112 Nm。

    型號:
    更新日期:2024-11-27
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